层流差压气体质量流量计

V系列层流流量计采用了自研的传感器和自主设计的层流元件，从材料特性和流体特征上保证流量测量的高精度和快速响应。流量量程0.5SCCM-5000SLPM, 工作压力1.0MPa, 精度0.5%.

层流差压气体质量流量控制器

V系列层流流量控制器采用了专门的自研精密比例阀及配合的控制算法，使气体流量的控制达到快、准、稳。控制量程10SCCM-500SLPM, 工作压力1.0MPa, 精度0.5%.

气体压力控制器

V系列压力控制器采用了专门的自研精密比例阀及配合的控制算法，单阀版压力控制器适用于正压和背压的控制，双阀版适用于压力容器的升降压维持设定压力的恒定。